潔凈防爆橋式起重機
該起重機是滿足新生產工藝的具備自動、潔凈、防爆功能的起重機。使用環境為半導體材料車間,無塵化設計,空氣清潔度等級為4級(國標7級)(即每立方米內0.1μm大小的顆粒物不大于10000個)。同時該車間內存在易燃易爆氣體,起重機防爆等級dIICT4。該起重機采用中控室計算機自動控制,可將還原爐和硅棒工具從還原爐平臺、清洗平臺、中轉平臺、拆棒工具等位置之間根據設定工作路線自動運行。